因此，在使用臭氧水之前，殘留臭氧的分解對於這些和其他應用至關重要。過去已經通過使顆粒狀活性炭（GAC）通過濾床來進行脫臭氧處理。但是，GAC具有相同的多孔結構，能夠使GAC去除臭氧，從而使GAC過濾器成為微生物的主要培養箱。使用的其他方法是通過過氧化氫H2O2（臭氧淬滅）或通過級聯，在填充柱中或通過空氣擴散進行曝氣。 在純淨水系統中，戰略性地佈置適當設計和尺寸的中壓或低壓UV系統，可以簡單，有效地將殘留臭氧減少到可檢測水平以下，並具有TOC銷毀的額外好處。將UV系統直接放置在需要保護臭氧（例如DI拋光）的水處理組件之前，可以最大程度地提高殘留臭氧的消毒效果。當需要進行迴路消毒時，只需關閉紫外線，並在短時間內跳過任何敏感的處理步驟。使用紫外線去除臭氧具有優勢，因為紫外線不需要可能會殘留殘留物的添加劑。此外，臭氧與紫外線的離解也可能有助於氧化總有機碳（TOC）。